發(fā)布時(shí)間：2023年04月03日 18時(shí)49分52秒

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　　與傳統(tǒng)傳感器相比微型傳感器它具有許多新的特性，可以彌補(bǔ)傳統(tǒng)傳感器的不足，同時(shí)具有廣泛的應(yīng)用前景，越來越受到重視。本文詳細(xì)介紹了一些微型傳感器的結(jié)構(gòu)和原理，闡述了微型傳感器的基本功能及它的特點(diǎn)。

　　微型傳感器所具備的功能及特點(diǎn)如下：

　　由于傳統(tǒng)傳感器材的制造工藝與半導(dǎo)體IC工藝不兼容，無論是功能、規(guī)模還是成本，都無法適應(yīng)IC技能制造的高速、高密度、小體積、低成本信號處理設(shè)備，從而限制了整個(gè)系統(tǒng)的集成、批量和功能的充分發(fā)揮。

　　微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器的簡單物理縮小產(chǎn)品，而是通過MEMS加工技術(shù)制備的新一代傳感器材，它具有小型化、集成化的特點(diǎn)，具有新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，可以大大提高傳感器的功能。信號傳輸前可以擴(kuò)大信號，然后減少干擾和傳輸噪音提高信噪比，從而在芯片上集成反應(yīng)線和補(bǔ)償線，可提高輸出的線性和頻響特性，從而減少錯(cuò)誤，提高相應(yīng)的靈敏度。

　　此外微型傳感器同時(shí)還具有陣列性，除了靈敏元件可以集成在一個(gè)芯片上以外，還具有擴(kuò)大電路和補(bǔ)償線路的特點(diǎn)。并且可以在同一個(gè)芯片上集成多個(gè)相同的靈敏元件，兼容性突出等特點(diǎn)便于與微電子設(shè)備集成和包裝。

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